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真空镀膜用电子枪、离子源及成套设备自动控制系统

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产品名称:

电子枪电源

高压、束流高度稳定,无漂移;

快速灭弧装置可减少拉弧对蒸发过程中的影响;

有各种远程控制功能,用来接收控制中心命令或对相关参数以及状态进行监测;

模块化电路设计,各部分电路相对独立,使用接插件互连,维修更换非常方便;

多路连锁保护功能,确保电源不易受损,更保护操作人员自身安全;

灯丝变压器在电源柜内,不占用真室下面空间;

底部有脚轮和垫脚,方便移动和固定;

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